Установка, разработанная совместно с белорусским предприятием «Планар», позволяет выпускать чипы по техпроцессу 350 нм и предназначена для обработки кремниевых пластин диаметром 150 и 200 мм. Производительность оборудования составляет до 63 пластин в час (для 150 мм). Срок изготовления и поставки литографа составляет 18 месяцев с момента внесения 50-процентного аванса. Помимо базовой версии, заказчикам предлагаются дополнительные опции: система активной виброзащиты за 40 млн рублей и комплект фотошаблонов за 12 млн рублей.

Отраслевые эксперты оценивают стоимость оборудования как привлекательную: она на десятки процентов ниже цен на зарубежные аналоги с аналогичными характеристиками. Несмотря на то, что технология 350 нм не является передовой в мировом масштабе, запуск собственного серийного производства литографов — важный шаг для достижения технологического суверенитета в условиях санкций. В планах ЗНТЦ значится выпуск литографов следующего поколения, способных выпускать чипы по техпроцессу 130 нм. Ориентировочная цена таких машин — около 6 млн долларов.