В сотрудничестве с ASML процессорный гигант уже завершил приемочные испытания. TWINSCAN EXE:5200B — это вторая версия сканера High-NA EUV от ASML, после TWINSCAN EXE:5000, который Intel первоначально использовала для своих пробных запусков 14A-технологии.  

Новая машина обеспечивает производительность 175 пластин в час в стандартных условиях, но Intel собирается повысить показатель до более чем 200 пластин в час. 

Установка также повышает точность совмещения, обеспечивая выравнивание отдельных литографических слоев с точностью до 0,7 нанометра.  

Серийное производство по новому техпроцессу Intel планирует начать в 2027 году. Компания акцентирует внимание, что данный техпроцесс выделяется тем, что партнёры компании участвуют в его разработке с самого начала, что позволит в последствии быстрее и проще создавать чипы, максимально подходящие под запросы заказчиков.