Базовый вариант Surface Go 3 предполагает наличие процессора Pentium Gold 6500Y, соединенного с 4 ГБ оперативной памяти DDR3. Вариант помощнее – с процессором Core i3-10100Y и 8 ГБ ОЗУ. Оба CPU относятся к семейству Amber Lake Y и обеспечивают примерно одинаковую производительность несмотря на принадлежность к разным сериям. Так, версия Core i3 быстрее версии с CPU Pentium всего на 4% в однопоточном тесте и на 11% – в многопоточном.